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江南三星旗下Semes成功开发出一种ArF-i光刻涂胶显影设备

类别:行业资 发布时间?024-06-29 21:06:52 浏览9script type="text/javascript"> function tag_arcclick(aid) { var ajax = new XMLHttpRequest(); ajax.open("get", "/index.php?m=api&c=Ajax&a=arcclick&aid="+aid+"&type=view", true); ajax.setRequestHeader("X-Requested-With","XMLHttpRequest"); ajax.setRequestHeader("Content-type","application/x-www-form-urlencoded"); ajax.send(); ajax.onreadystatechange = function () { if (ajax.readyState==4 && ajax.status==200) {     document.getElementById("eyou_arcclick_1719723320_"+aid).innerHTML = ajax.responseText;  } } }

  JN SPORTS三星电子旗下的韩国半导体和显示器制造设备公司表示,第一台名为“Omega Prime”的设备已于去年供货,Semes正在制造第二台设备江南。目前,Semes已制造出KrF光刻涂胶/显影设备,并在此基础上开发了ArF版本江南,以支持波长更短的新型光刻机、/p>

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